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        上海晰微光電生產的193nm反射鏡具有高反射率，高損傷閾值。適用于準分子激光、半導體等行業應用。

        提供193nm反射鏡定制服務，可根據要求定制直徑和厚度。專為高功率準分子激光器的應用設計。該反射鏡是應對最苛刻紫外線應用的理想選擇精密的紫外級熔融石英基片提供出色的熱穩定性和低波前畸變。準分子激光線反射鏡可定制不同尺寸 12.5mm、25mm 和 50mm 直徑等。該反射鏡可提供 193nm 或 248nm 的設計波長 (DWL)。反射鏡為 45° 入射角，并具有極低的偏振依賴性。

技術數據