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尼康 CF Plan DI 白光干涉物鏡｜Mirau 型 3D 形貌測量｜非接觸高精度檢測

產(chǎn)品概述

尼康CF Plan DI/Mirau 系列白光干涉物鏡，是專為白光干涉測量（WLI） 打造的專業(yè)光學(xué)核心組件，采用 Mirau 型干涉光路設(shè)計(jì)，內(nèi)置分光鏡與參考鏡，無需額外搭建干涉光路，即可實(shí)現(xiàn)非接觸、納米級精度的三維表面形貌測量。作為尼康光學(xué)技術(shù)的標(biāo)桿產(chǎn)品，該系列物鏡以高分辨率、低像差、寬光譜適配、長工作距離為核心優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密制造、光學(xué)元件、材料科學(xué)等領(lǐng)域的高精度質(zhì)量控制與科研分析。

核心技術(shù)優(yōu)勢

1. Mirau 型干涉光路，即插即用

內(nèi)部集成分光與參考光路，直接適配白光干涉儀，無需外部干涉模塊，簡化系統(tǒng)搭建，提升測量穩(wěn)定性與重復(fù)性。

2.平場復(fù)消色差校正，全視場清晰

采用 CFI（Chromatic aberration?free infinity）無限遠(yuǎn)校正與 Plan 平場設(shè)計(jì)，消除色差與場曲，確保從視場中心到邊緣成像均勻、無畸變，適配大尺寸傳感器（2/3"、1/2"）。

3.寬光譜白光適配，垂直掃描精準(zhǔn)

專為寬帶白光優(yōu)化，利用白光短相干長度特性，實(shí)現(xiàn)垂直方向納米級掃描測量，精準(zhǔn)解析表面微觀結(jié)構(gòu)，測量精度達(dá)波長級別。

4.全倍率覆蓋，適配多場景測量

提供 2.5×–100×完整倍率系列，NA 0.055–0.7，工作距離 2.0–10.3 mm，兼顧大視場宏觀檢測與高倍微觀分析，滿足從大面積掃描到微納結(jié)構(gòu)觀測的全場景需求。

5.工業(yè)級耐用，適配嚴(yán)苛環(huán)境

采用高硬度光學(xué)玻璃與精密鍍膜，抗反射、抗污染，適配工業(yè)車間、實(shí)驗(yàn)室等多場景長期穩(wěn)定使用，RMS 標(biāo)準(zhǔn)接口，兼容尼康正置 / 倒置顯微鏡及主流白光干涉儀系統(tǒng)。

核心參數(shù)（CF Plan DI 系列）

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓表面粗糙度、光刻膠臺階高度、薄膜厚度、微電路形貌檢測。

精密制造：精密模具、刀具、齒輪、航空航天構(gòu)件的 3D 形貌與表面質(zhì)量檢測。

光學(xué)元件：透鏡、棱鏡、非球面鏡、光學(xué)薄膜的面形精度與厚度測量。

材料科學(xué)：金屬、陶瓷、聚合物、涂層材料的表面微觀結(jié)構(gòu)分析。

科研領(lǐng)域：微納加工、生物材料、MEMS 器件的非接觸式三維表征。

產(chǎn)品價值

高精度：納米級測量分辨率，滿足高端制造與前沿科研的嚴(yán)苛精度要求。

非接觸：無損檢測，避免樣品損傷，適配軟質(zhì)、易碎、高反光樣品。

高效率：單次測量獲取完整 3D 形貌數(shù)據(jù)，大幅提升檢測效率。

高兼容：標(biāo)準(zhǔn) RMS 接口，無縫適配尼康及主流白光干涉儀系統(tǒng)，降低集成成本

【聯(lián)系方式】

公司名稱： 上海晰微光電技術(shù)限公司

電　　話： 021-5427 0855

手       機(jī)：136 6171 6328

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